一種用于輸送化學溶液到外部設備的裝置。該裝置包括:用于制備懸浮液的備料罐;循環管,其連接到備料罐上以循環懸浮液;輸送管,其連接在備料罐與外部設備之間,以向外部設備輸送懸浮液;泵,其將備料罐中的化學溶液傳送到循環管和輸送管中;濃度檢測器,其設置在泵的下游,用來檢測懸浮液的濃度;控制器,其根據濃度檢測器的檢測值控制備料罐中化學溶液的濃度,并控制化學溶液的輸送。
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