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    用于化學品過濾器更換的自動排泡系統

    769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:56:05
    本實用新型公開了一種用于化學品過濾器更換的自動排泡系統，其中化學品過濾器將化學品供應柜和制程單元連通，化學品供應柜與化學品過濾器的輸入端通過輸入管路連通，化學品過濾器的輸出端與制程單元的輸入端通過主管路連通，所述系統包括控制單元、氣泡檢測器、三通閥、流量計、旁路開關閥，氣泡檢測器設于主管路上，三通閥設于氣泡檢測器和制程單元的輸入端之間且連接一旁路排氣管路，氣泡檢測器與控制單元通訊連接，旁路排氣管路上設有旁路開關閥，三通閥和旁路開關閥之間還設有流量計，流量計和旁路開關閥分別與控制單元電性連接。本實用新型在主管路上增加旁路排泡結構，可以大幅縮短排泡耗時，降低化學品排放量，并且可以精確控制排液量。
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