• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 去邊檢測裝置及檢測方法

    去邊檢測裝置及檢測方法

    1196   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:56:06
    本發明提供了一種去邊檢測裝置，包括：探測組件，其包括信號發射器和信號接收器，用于探測晶圓邊緣和去邊位置；支撐框架，用于固定上述探測組件；傳動組件，與上述支撐框架相連接；控制單元，控制上述探測組件在晶圓徑向方向上的平行移動并記錄其探測到晶圓邊緣和去邊位置所對應的行進距離，以計算晶圓的去邊量。此外，本發明還提供了一種去邊檢測方法，其能精確地檢測去邊位置，提高檢測的可重復性，并對化學電鍍去邊后的平坦化進行量化的控制，以降低化學機械研磨工藝中產生剝落缺陷并造成晶圓劃痕，提高化學電鍍平坦化的控制，進而提高了晶圓的良率。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “去邊檢測裝置及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：將乳化技術應用于檢測內燃機油中各元素含量的方法
    下一個：基于MoS2-AuNPs和離子液體的CPO生物傳感器及其檢測NO2-的應用

    與 “去邊檢測裝置及檢測方法” 相關技術

    ? 氮化硅基陶瓷材料及陶瓷軸瓦的制備方法
    ? 用于氮氣氣氛爐更換熱偶的裝置
    ? 鈉離子電池正極極片及鈉離子電池
    ? 氣氛爐爐底密封裝置
    ? 二維碳片負載納米晶的復合材料及其制備方法和應用
    ? 鋅溴液流電池用復合電極材料及其制備方法和應用
    ? 高溫懸浮焙燒氣氛爐裝置
    ? 管道超聲波探傷用安裝裝置
    ? 管板焊縫磁粉探傷儀
    ? 超大鍛件內部缺陷的超聲波探傷裝置裝置及探傷方法

    相關化學分析設備推薦

    JC-803A型標準土壤采樣器
    Testo 535 二氧化碳測量儀 多氣體檢測儀
    金屬線材單雙向扭轉試驗機
    納米壓痕儀
    全自動引伸計微機控制電子萬能試驗機
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?氮化硅基陶瓷材料及陶瓷軸瓦的制備方法
    ?用于氮氣氣氛爐更換熱偶的裝置
    ?鈉離子電池正極極片及鈉離子電池
    ?氣氛爐爐底密封裝置
    ?二維碳片負載納米晶的復合材料及其制備方法和應用
    ?鋅溴液流電池用復合電極材料及其制備方法和應用
    ?高溫懸浮焙燒氣氛爐裝置
    ?管道超聲波探傷用安裝裝置
    ?管板焊縫磁粉探傷儀
    ?超大鍛件內部缺陷的超聲波探傷裝置裝置及探傷方法

    報名參會
    更多+

    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    2025年07月23日 ~ 26日
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月01日 ~ 03日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>