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    半導體制備用化學藥液自動供給混合系統及方法

    916   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:21
    本發明公開了一種半導體制備用化學藥液自動供給混合系統及方法，包括藥液桶、供給混料機構、換液升降機構、流量檢測組件和傾斜施力機構，傾斜施力機構設置在換液升降機構的側邊，用于推動藥液桶繞其底面的棱邊朝向供給混料機構旋轉，以使得供給混料機構及時泵取到藥液桶底部的化學藥液；控制系統，分別與供給混料機構、換液升降機構、流量檢測組件和傾斜施力機構連接，控制系統根據流量檢測組件的實時測量結果調控供給混料機構的泵取工作，且控制系統根據流量檢測組件實時測量結果計算藥液桶的剩余液量，控制系統基于計算的剩余液量依次調控傾斜施力機構和換液升降機構工作。本發明避免將藥液傾斜聚集，保證化學藥液的配比比例精度。
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    聲明：
    “半導體制備用化學藥液自動供給混合系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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