本申請屬于半導體技術領域,具體涉及一種泄漏檢測件、氣體管路、制造設備以及管道泄漏檢測方法,該泄漏檢測件用于檢測管道,包括固定部和檢測部,固定部用于與管道以可拆卸連接的方式連接,管道中通入氣體,檢測部設置在固定部上,通過檢測部與氣體接觸的化學反應確定管道發生泄漏。根據發明實施例的泄漏檢測件,通過檢測部與氣體接觸時,發生化學反應確定管道泄漏,將微小的變化轉變為肉眼可以觀察到的變化,彌補了通過壓力檢測的方式檢測范圍有限的缺點,響應時間短,靈敏度高,檢測成本低。確定管道出現泄漏后,對管道進行及時的維修,使氣體能夠完全被導入反應室中并在工件表面發生反應,進而保證集成電路產品的生產過程和品質。
聲明:
“泄漏檢測件、氣體管路、制造設備以及管道泄漏檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)