本發明公開了一種掃描電化學顯微鏡系統及其控制方法,應用在掃描電化學顯微鏡技術之中,系統包括:探針,用于檢測電信號;探針定位系統,用于驅動所述探針移動;雙恒電位儀,用于向所述探針施加測試信號并檢測所述探針的反饋信號;計算機,用于控制所述探針定位系統驅動所述探針移動;以及控制所述雙恒電位儀在所述探針停留在一個檢測位置時,向所述探針施加長時間的電位或至少兩個具有不同電位等級的測試信號,以及記錄每個測試信號對應的所述反饋信號;以及根據電位等級相同的所有檢測位置的反饋信號得到各電位等級所對應的掃描圖像。本發明相對于現有技術效率更高,并且每次掃描可以獲得更加多的測試數據。
聲明:
“掃描電化學顯微鏡系統及其控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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