一種化學機械拋光設備及其預熱方法,所述化學機械拋光設備包括:拋光墊;去離子水供應管路;拋光液供應管路;拋光墊修正器,還包括:加熱裝置,對流入所述去離子水供應管路中的去離子水進行加熱;溫度傳感器,靠近所述拋光墊以檢測所述拋光墊的溫度;預熱控制系統,與所述溫度傳感器相連,用于控制所述去離子水供應管路向所述拋光墊噴淋經加熱的去離子水,在所述溫度傳感器檢測到的溫度達到或高于預設溫度時,關閉所述去離子水供應管路,控制所述拋光液供應管路向所述拋光墊噴淋拋光液,同時啟動所述拋光墊修正器對所述拋光墊進行打磨。本發明能夠降低化學機械拋光設備在機臺預熱過程中對各種耗材的損耗,降低生產成本。
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