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    化學機械拋光系統和拋光襯底的方法

    731   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:46
    本發明的實施例涉及化學機械拋光系統和拋光襯底的方法。公開了一種化學機械拋光的方法，包括：將漿料供應到拋光墊上；將晶圓壓向所述拋光墊上，其中，第一壓電層設置在壓力單元和所述晶圓之間；檢測所述第一壓電層產生的第一電壓；根據檢測到的所述第一壓電層產生的所述第一電壓，使用所述壓力單元，將所述晶圓壓在所述拋光墊上；以及使用所述拋光墊拋光所述晶圓。
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