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    用于制造半導體的化學品供應系統及其工作方法

    790   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:47
    本發明公開了一種用于制造半導體的化學品供應系統，包括完全相同的至少兩套供應設備以及和每套供應設備化學藥品罐的出口連接的沉積腔，每套供應設備包括一個用于儲存需要進行沉積的化學藥品的化學藥品罐，化學藥品罐內具有能夠實施檢測罐內藥品余量的傳感器，化學藥品罐的進口同時連接到另一個化學藥品罐的出口以及當前套供應設備的載氣罐出氣口，載氣罐的進氣口和空壓機連接。一個化學藥品罐的進口和另一個化學藥品罐的出口連接的共用管路上設有至少一個截止閥。本發明還公開了此種供應系統的工作方法。采用本發明的設計方案，能夠使得化學藥品罐的藥品被完全用光，實現0殘留，降低生產成本。
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    聲明：
    “用于制造半導體的化學品供應系統及其工作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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