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    用于化學機械拋光的承載頭、拋光系統和拋光方法

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:58:59
    本發明公開了一種用于化學機械拋光的承載頭，其包括承載盤、彈性膜和保持環，所述彈性膜設置于承載盤的下方，所述保持環設置于所述彈性膜的外周側并位于承載盤的底部；所述彈性膜包括底板部、直立部和水平部，所述底板部為盤狀結構，直立部沿所述底板部的外緣豎直向上延伸，所述水平部自所述直立部的頂端水平向內延伸；還包括應變檢測件和位置調節件，應變檢測件沿周向設置于承載盤的底部，并且，所述彈性膜加壓后，所述水平部抵接于應變檢測件，以測量水平部的應力信息；位置調節件與應變檢測件水平相鄰設置于承載盤，位置調節件能夠抵接于水平部，其基于應變檢測件的測量值調節水平部的應力，使得水平部構成的腔室沿圓周方向的變形均勻。
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    聲明：
    “用于化學機械拋光的承載頭、拋光系統和拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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