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    提高化學機械拋光研磨液使用率的系統及方法

    910   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:01
    本發明公開了一種提高化學機械拋光研磨液使用率的系統,包括化學機械拋光裝置,研磨液供給裝置,接受從研磨墊上流出的研磨液的管路,研磨液再循環管路,從研磨液再循環管路一端流出的研磨液與研磨液供給裝置中流出的研磨液原液匯合通過研磨液供給裝置傳送到研磨墊的表面。本發明還公開了一種提高化學機械拋光研磨液使用率的方法,包括以下步驟:1.實時檢測從研磨墊上流出的研磨液參數;2.確定研磨墊上流出的研磨液參數符合工藝要求;3.使循環使用液的研磨液與研磨液原液的混合研磨液達到工藝要求并將混合研磨液輸送到研磨墊的表面。本發明提高了研磨液的使用率。
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