• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 化學機械拋光方法及裝置

    化學機械拋光方法及裝置

    1100   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:01
    本發明提供了一種化學機械拋光方法及裝置，屬于半導體技術領域?；瘜W機械拋光方法包括：利用至少兩個拋光冷卻階段對硅片進行化學機械拋光，每一所述拋光冷卻階段依次包括拋光階段和冷卻階段；其中，在所述拋光階段使用拋光液對所述硅片進行拋光；在所述冷卻階段檢測拋光盤的溫度，根據所述拋光盤的溫度調整冷卻液的添加劑量，將所述冷卻液直接通入到所述拋光盤的表面對所述拋光盤進行冷卻。本發明能夠提高硅片的表面平坦度。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “化學機械拋光方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：納米氧化鋅與碳化鈦復合材料電化學傳感器的制備方法和應用
    下一個：導電聚合物薄膜基電化學傳感器及其制備方法

    與 “化學機械拋光方法及裝置” 相關技術

    ? 礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
    ? 從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
    ? 鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
    ? 硫氧混合型金礦的選別方法
    ? 提升高磷銅合金帶材導電率的方法
    ? 用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
    ? 銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
    ? 銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
    ? 高強度銅合金帶材及其生產工藝
    ? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

    相關化學分析設備推薦

    線性研磨器
    數顯式土壤緊實度儀
    GF-A型管道式金屬分離器
    鏈式液壓布氏硬度計
    (自動轉塔)數顯顯微維氏硬度計
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
    ?從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
    ?鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
    ?硫氧混合型金礦的選別方法
    ?提升高磷銅合金帶材導電率的方法
    ?用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
    ?銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
    ?銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
    ?高強度銅合金帶材及其生產工藝
    ?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

    報名參會
    更多+

    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月05日 ~ 07日
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025年08月10日 ~ 12日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:140
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:92
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>