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    電化學拋光金屬互連晶圓結構的方法

    1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:50
    本發明提供一種電化學拋光金屬互連晶圓結構的方法，包括：步驟一，電化學拋光晶圓產品中的部分晶圓，獲取拋光一合格晶圓所需的平均時間T0，步驟二，測量晶圓產品中任一晶圓O的厚度前置D0，并與前值目標值D比對；步驟三，對晶圓O進行電化學拋光；步驟四，清洗晶圓O；步驟五，測量晶圓O的厚度后值D1；步驟六，判斷晶圓O的厚度后值D1是否滿足后值目標值D’的要求，將晶圓O返工或送入后續CMP模塊；其中，拋光晶圓O所需的時間T＝T0+[(D0-D)/(K*RR)]*60，RR為拋光速率，K為常系數，其中拋光速率RR隨著拋光晶圓產品的批次數的增加而變緩，常系數K由晶圓產品的形貌決定。本發明的方法易于實行且效果明顯，能夠大幅度提高拋光晶圓產品的良率。
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    聲明：
    “電化學拋光金屬互連晶圓結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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