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    化學機械研磨設備及方法

    920   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:50
    一種化學機械研磨設備及方法，其中化學機械研磨設備包括：載片臺；研磨機構，包括能夠沿第二直線方向重復移動的研磨件，第一、二直線方向垂相互垂直；研磨液注入機構，用于向研磨件注入研磨液；研磨清洗機構，與研磨機構沿第一直線方向相對設置；膜厚測量機構，用于測量清洗后的待研磨片厚度。在化學機械研磨過程中，對移動中的待研磨片邊研磨、邊清洗和邊測量。使用本設備，實時測量的研磨后的待研磨片厚度，控制研磨過程中待研磨片的研磨量，確保待研磨片研磨后的厚度為目標厚度，提升產品合格率，減少廢片量產生，降低生產成本。
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    化學分析
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