本發明涉及一種雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學氣相沉積設備,是非晶硅薄膜太陽能電池的規?;a中一種核心工藝設備,所述雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學氣相沉積設備包括真空鍍膜機。該真空鍍膜機設有兩個真空腔體,每個真空腔體設有一到多個電極盒,每個電極盒可放置多片玻璃,所述兩個真空腔體共用真空獲得/壓力測量系統,工藝氣體/流量控制系統,射頻電源/匹配器系統,并通過中心控制系統在時間上控制兩真空腔體的化學氣相沉積為交替工作過程,該設備大幅度地提高了非晶硅薄膜太陽能電池量產過程中的設備可靠性,提高了該高質量低速沉積工藝技術的產量,能夠有效降低生產成本。
聲明:
“雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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