本發明的鑒別高速生長的化學氣相沉積金剛石單晶的方法屬金剛石材料技術領域。通過以甲烷、氫氣、氮氣為反應氣體獲得的CVD金剛石單晶的生長表面及沿生長方向側面不同位置的光致熒光光譜的測試,光譜強度規律變化的金剛石單晶是摻氮高速化學氣相沉積金剛石單晶。進而根據和氮含量相關的光致熒光峰的強度的規律變化,區分CVD金剛石單晶和其他金剛石單晶。本發明的方法簡單、適用、快速;不對所生長的CVD單晶金剛石造成破壞。
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