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    化學機械拋光控制方法及控制系統

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:53
    本發明公開了一種化學機械拋光控制方法及控制系統，所述化學機械拋光控制方法包括：使用具有多個壓力腔室的承載頭拋光晶圓，所述壓力腔室將晶圓表面對應劃分為多個分區，控制所述壓力腔室的拋光參數以調節晶圓各個分區的形貌；所述分區設定有多個采集點，加權處理所述分區中采集點的測量值，根據加權處理的測量值計算晶圓的實測形貌；比對晶圓的實測形貌與目標形貌的差異，優化所述壓力腔室對應的拋光參數。
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    聲明：
    “化學機械拋光控制方法及控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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