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    鋁金屬柵化學機械研磨去除率的確定方法和系統

    827   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:54
    本發明提供一種鋁金屬柵化學機械研磨去除率的確定方法，提供鋁金屬柵化學機械研磨時的研磨參數、所需研磨液的成分及各成分的濃度，根據研磨時研磨液中各成分與鋁金屬柵表面發生的化學反應以及研磨粒子對鋁金屬柵表面機械去除反應，確定金屬粒子濃度隨時間變化率與金屬粒子濃度的關系，由此關系確定鋁金屬柵的研磨去除率。相應地，本發明還提供一種鋁金屬柵化學機械研磨去除率的確定系統。本發明綜合考慮有效研磨粒子機械去除和研磨液化學反應刻蝕間的協同作用，能實時確定鋁金屬柵的化學機械研磨去除速率，對CMP研磨的實時預測及芯片生產線工藝配置具有積極指導作用。
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