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    研磨液、化學機械研磨方法

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:13
    本發明的課題是提供一種可賦予面內均勻性優異的被研磨體的研磨液。并且，提供一種使用上述研磨液的化學機械研磨方法。本發明的研磨液是使用于化學機械研磨中的研磨液，其含有研磨粒、有機酸及水溶性高分子，且同時滿足下述式(1)～式(3)。式(1)：1.5≤η100rpm/η1000rpm≤20；式(2)：1.2≤η100rpm/η500rpm≤10；式(3)：η100rpm/η1000rpm＞η100rpm/η500rpm，在式(1)～式(3)中，η100rpm是在40％RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速100rpm測定的上述研磨液的粘度，η500rpm是在40％RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速500rpm測定的上述研磨液的粘度，η1000rpm是在40％RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速1000rpm測定的上述研磨液的粘度。
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    化學分析
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