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    基于化學氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法

    1185   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:13
    本發明公開了一種基于化學氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法，涉及材料制備技術領域，包括以下步驟：步驟S1：原料準備，準備襯底、鉬源、硫源、氮氣、硒源、丙酮溶液、去離子水、氮氣槍、磁控濺射設備、雙溫區管式氣氛爐、瓷舟、氯化鉀和機械泵；步驟S2：清洗，將襯底置于丙酮溶液中清理2?4分鐘；步驟S3：預處理；步驟S4：準備工作；步驟S5：運行；步驟S6：保溫冷卻；步驟S7：檢驗。本發明具備了通過磁控濺射法和化學氣象沉積法的組合形式，使得不僅可對成膜的厚度和規格進行調整，同時可以實現大面積連續性的合成二硫化鉬薄膜，并可對薄膜的結構加以控制，具有實用性更佳的效果。
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    聲明：
    “基于化學氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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