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    多孔硅光子晶體生物芯片的檢測方法

    1153   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:14
    本發明公開了一種多孔硅光子晶體生物芯片的檢測方法，所述測量方法包括以下步驟 : ?S1、通過等離子體增強化學氣相沉積法將Si3N4沉積在P型單晶硅上, 用標準的光刻工藝制備出8*8的微陣列器件; S2、在黑暗和常溫環境下對所述微陣列器件進行電化學腐蝕, 所述微陣列器件中每個圓形單元為多孔硅微腔; S3、將所述多孔微腔連接至所述微陣列器件的表面光學特性的檢測光路; S4、所述檢測光路測量所述微陣列器件表面的反射率，然后將所述反射率的變化轉變成數字圖像中對應區域亮度的變化，分析所述對應區域亮度變化所對應的數字圖像的灰度級，檢測到高靈敏度的折射率。
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    “多孔硅光子晶體生物芯片的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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