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    微刀具金剛石涂層的化學氣相沉積裝置及方法

    724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:14
    微刀具金剛石涂層的化學氣相沉積裝置及方法，屬于金剛石薄膜化學氣相沉積制備技術領域。真空泵通過真空針閥與真空反應室連通，氫氣瓶、氬氣瓶和甲烷瓶與混合箱連通，進氣針閥固定在真空反應室爐蓋上，壓力控制裝置與真空反應室連通，電極組件固定在真空反應室內，工作臺設置在真空反應室內，微刀具固定在工作臺上，兩根電纜線從加熱電源處引出并與電極組件連接，熱電偶的探頭端部貼有硬質合金薄片，紅外測溫儀通過其自帶的支架設置于真空反應室外部，冷水機外接有四根冷水管，其中兩根與真空反應室的爐蓋連通，其余兩根與真空反應室的爐體連通，真空表安裝在真空反應室的爐蓋上。本發明用于微刀具金剛石涂層的化學氣相沉積。
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