本實用新型涉及化學氣相沉積技術領域,提供一種化學氣相沉積爐漏氣快速處理輔助裝置,包括爐體、第一保護殼和第二保護殼,爐體的外部設置有第一保護殼,第一保護殼的外部設置有拆裝結構,第一保護殼的頂端設置有出氣管,第一保護殼的底端設置有第二保護殼,第二保護殼的底端設置有抽氣管,第二保護殼底端的中間位置處設置有注氣管,第一保護殼與第二保護殼的內部設置有防護結構。本實用新型通過設置有拆裝結構,將鎖緊螺栓從通孔內部拆下,然后分離對接槽與對接塊之間的卡合,便可完成對于第一保護殼和第二保護殼的拆卸,對第一保護殼和第二保護殼的便捷拆下,方便了工作人員對于爐體的檢修。
聲明:
“化學氣相沉積爐漏氣快速處理輔助裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)