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    掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法

    1122   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:15
    本發明屬于電化學技術領域，具體為一種掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法。本發明制備方法包括：以納米薄膜的形式制備探針的犧牲層；以納米薄膜的形式在犧牲層上制備探針的絕緣層，絕緣層厚度控制在5?50 nm；以納米薄膜的形式在絕緣層上制備金屬電極層，金屬電極層的厚度控制在5?50 nm；利用有機溶劑去除犧牲層釋放絕緣層和金屬層雙層薄膜；雙層薄膜的內應變梯度促使絕緣層和金屬電極層卷曲，形成由絕緣層包裹金屬電極層的微管結構。該結構可用作掃描電化學顯微鏡探針；通過材料和結構調節，實現更高的探測性能和顯微成像分辨率。
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    聲明：
    “掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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