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    用于自由基氣體和短時間存活分子的多傳感器氣體取樣檢測系統和使用方法

    753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:15
    本申請案是針對用于檢測和測量自由基氣體流中的自由基的多傳感器氣體取樣檢測系統和方法且包含與至少一個氣體源連通的至少一個自由基氣體生成器。所述自由基氣體生成器可經配置以生成可在處理腔室內使用的至少一個自由基氣體流。因此，所述處理腔室與所述自由基氣體生成器成流體連通。與所述自由基氣體生成器成流體連通的至少一個分析電路可用于所述檢測和測量系統中。分析可經配置以接收經界定體積和/或流速的所述自由基氣體流。在一個實施例中，所述分析電路可經配置以使至少一個試劑與所述經界定體積的所述自由基氣體流內的自由基進行反應，從而形成至少一個化合物流內的至少一個化學物質。所述分析電路內的至少一個傳感器模塊可經配置以測量所述化合物流內的所述化學物質的濃度。一或多個流量測量模塊可與所述傳感器模塊成流體連通。在使用期間，所述流量測量模塊可經配置以測量所述化合物流和自由基氣體流中的至少一個的體積。
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