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    在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統

    716   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:16
    本實用新型涉及一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統。目前常見的化學氣相沉積爐加熱室反碳程度判定方法，在加熱室與馬弗罐內分別設置壓力傳感器，根據內外壓差和真空度，提示并判斷反碳程度是否超標，往往不能真實反映加熱室內反碳情況。本實用新型的判定系統將爐內每一個加熱區的電阻帶及爐襯分別串聯一個多路轉換開關后并聯，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯成閉環測試電路系統；電量變送器接入智能數字儀表和報警提示系統。本實用新型通過測試某區變流電阻電流信號，在線通過程序控制使調功器間隔固定時間段呈高阻狀態，對應計算出該時段對地絕緣電阻數值，間接反映爐內加熱室反碳程度，可靠性強。
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