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    基于懸浮工作電極的電化學敏感芯片及加工方法

    1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:25
    本發明公開了一種基于懸浮工作電極的電化學敏感芯片及其加工方法，其包括襯底、金屬電極薄膜的附著層、工作電極和其他電極，襯底正面中部設有腐蝕凹槽或第一腐蝕孔，金屬電極薄膜的附著層鋪設在腐蝕凹槽或第一腐蝕孔外部的襯底正面且金屬電極薄膜的附著層中心設有與腐蝕凹槽或第一腐蝕孔連通的第二腐蝕孔，工作電極中部懸浮在第二腐蝕孔上，第二腐蝕孔通過工作電極兩側的空隙與工作電極上部連通。分別基于表面微加工技術或基于雙側體微加工技術，制備具有懸浮工作電極結構的電化學敏感芯片，工作電極正反面都與電解液直接接觸，增加了工作電極參與電荷交換的有效面積，成功地提高了工作電極上的電流輸出，提高測量信噪比。
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    聲明：
    “基于懸浮工作電極的電化學敏感芯片及加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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