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    有效控制金剛線濕化學黑硅電池片EL不良的方法

    944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:25
    本發明公開了一種有效控制金剛線濕化學黑硅電池片EL不良的方法，它包括以下步驟：1)制絨：將原硅片通過去除損傷層、銀沉積、挖孔、初步脫銀、擴孔的處理后(步驟間都有水漂洗)，通過一種溶液處理，所述溶液為鹽酸和水組成的酸性混合液，且混合液中的體積比為鹽酸：水＝1:6～1：1，所述鹽酸的濃度為36％～38％，并且將濕法黑硅制絨硅片的減重控制在0.35～0.45g；2)從正常產線流程的擴散工序開始進入到正常產線流程中處理即可，就是依次進行擴散、去PSG、刻蝕、PECVD鍍膜、絲網印刷和測試，本發明提供一種能降低電池片量產的低效比例的有效控制金剛線濕化學黑硅電池片EL不良的方法。
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