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    利用微波等離子體化學氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法

    1185   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:27
    本發明屬于紅外探測技術領域，一種利用微波等離子體化學氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法。該方法包括以下步驟：(1)采用熱蒸發法在襯底上生長硒化鉛薄膜；(2)采用微波等離子體化學氣相沉積法處理硒化鉛薄膜。本發明微波等離子處理方法沒有導致硒元素流失，不改變原材料的元素構成與材料性質，僅燒結現象提高其結晶程度，增強光電性能。
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    聲明：
    “利用微波等離子體化學氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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