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    控制化學機械拋光的蒸汽產生

    800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:28
    一種化學機械拋光系統，其包括蒸汽產生器，該蒸汽產生器具有：加熱元件，其對容器施加熱量以產生蒸汽；開口，其將蒸汽輸送至拋光墊上；第一閥，其在開口與容器之間的流體管線中；傳感器，其監測蒸汽參數；及控制系統?？刂葡到y經配置以：根據配方中的蒸汽輸送排程使閥打開及關閉；接收來自傳感器的蒸汽參數的測量值；接收蒸汽參數的目標值；用目標值及測量值作為輸入來執行比例積分微分控制算法，從而控制第一閥和/或第二釋壓閥和/或加熱元件，以使得在根據蒸汽輸送排程打開閥之前測量值基本上到達目標值。
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