本發明公開一種氮氧電化學氣體傳感器芯片,其整體為片狀包括第一氧化鋯固體電解質層、第二氧化鋯固體電解質層、第三氧化鋯固體電解質層、第四氧化鋯固體電解質層、第五氧化鋯固體電解質層、第六氧化鋯固體電解質層、擴散障一、第一外電極、第一內電極、第一測試腔、第二測試腔、擴散障二、第二內電極、第三內電極、第二外電極、填充有多孔陶瓷一的空氣參比腔以及加熱電極。本發明解決了普通氮氧傳感器陶瓷芯片大多有四個通孔,三個擴散障,結構非常復雜,生產加工難度大,不良率高,實際使用時通孔過多的部位易發生應力集中,而使芯片開裂的問題,節約了成本。
聲明:
“氮氧電化學氣體傳感器芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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