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    多功能金剛石薄膜的熱絲化學氣相沉積裝置

    952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:30
    本實用新型涉及金剛石膜生長領域，尤其涉及一種多功能金剛石薄膜的熱絲化學氣相沉積裝置。該裝置主要包括：絕緣層一、導電層一、內孔工件、氣體噴淋頭、熱絲一、氣體噴淋環、熱絲二、基片、導電層二、絕緣層二、反應腔體、外部氣源、直流加熱電源二、直流加熱電源一、偏壓電源一、偏壓電源二、調速電機、抽真空系統、水冷樣品臺二、水冷樣品臺一、真空測控系統等。本實用新型既可以實現在工件內孔快速、均勻沉積金剛石薄膜，又可以實現在大面積基片上快速、均勻沉積金剛石薄膜，沉積時反應氣體消耗量低，沉積過程中能測控熱絲的溫度、工件表面的溫度和反應腔內的壓強，能準確控制金剛石薄膜沉積各項主要工藝參數，工藝重復性好。
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