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    微波等離子體化學氣相沉積金剛石膜的裝置

    1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:19
    本實用新型公開了一種微波等離子體化學氣相沉積金剛石膜的裝置，包括微波源和反應沉積室，所述微波源與波導相連接，所述波導上設有模式轉換器，所述模式轉換器的下方設有圓柱形型腔，所述圓柱形型腔的下方安裝有反應沉積室，所述反應沉積室的頂端設有石英微波窗，所述反應沉積室的側壁上從上到下依次開設有進氣口和觀察窗口，所述反應沉積室的側壁上開設有與測溫儀相連接的測溫孔，所述反應沉積室內設有沉積臺，所述沉積臺上方設有微波等離子體球，所述反應沉積室與真空泵相連接。本實用新型通過設置圓柱形型腔和半橢球形石英微波窗，可使得激發等離子體位置穩定、密度高，不僅提高了金剛石膜的沉積效率，還降低了合成成本。
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