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    化學機械式研磨裝置用承載頭的卡環及具備其的承載頭

    719   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:20
    本實用新型涉及化學機械式研磨裝置用承載頭的卡環及具備其的承載頭，包括：承載頭本體；隔膜，其加裝于承載頭本體的下面；卡環，包括卡環主體和引導凸起，所述卡環主體隔開地配置于隔膜的外側面，所述引導凸起在卡環主體的內面凸出形成。承載頭本體包括：本體部，其與驅動軸連接并旋轉；底座部，其與本體部連接并一同旋轉。本體部上端結合于驅動軸并進行旋轉驅動。隔膜包括：底板，側面，多個環形態的隔壁，其在底板的中心與側面之間，結合于底座部；在隔膜與底座部之間，形成有被隔壁分割的多個壓力腔。在多個壓力腔，可以提供用于分別測量壓力的壓力傳感器。各壓力腔的壓力可以按照壓力控制部的控制而單獨地得到調節。
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