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    化學機械平坦化設備

    949   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:20
    本實用新型公開了一種化學機械平坦化設備，包括研磨墊，設于旋轉臺上；研磨頭，用于帶動晶圓在研磨墊上旋轉以研磨晶圓表面；研磨液輸送臂，包括帶有出口的研磨液輸送管，用于向研磨墊上輸送研磨液；還包括，冷卻單元，用于降低研磨液輸送管內研磨液的溫度；加熱單元，用于升高研磨液輸送管內研磨液的溫度；調控單元，用于至少監測研磨墊的溫度和研磨液輸送管內研磨液的溫度，以通過冷卻單元和/加熱單元的調節，使得研磨墊的溫度和研磨液輸送管出口處的研磨液溫度趨于相同。本實用新型中研磨液溫度可以快速升降雙向切換；降低能耗；提高生產效率。
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    聲明：
    “化學機械平坦化設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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