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    M形同軸天線915MHz微波等離子體化學氣相沉積裝置

    741   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:21
    一種M形同軸天線915MHz微波等離子體化學氣相沉積裝置。包括微波入口、上圓柱諧振腔、真空石英環、M形同軸天線、下圓柱諧振腔、測溫窗口、第二調諧結構、排氣口、第一調諧結構、沉積臺、襯底、等離子體區、進氣口、偏壓電極。M形同軸天線的M形頂角對微波具有強匯聚作用，可提高微波耦合效率，并強化電場和等離子體強度。真空石英環置于M形同軸天線頂部。M形同軸天線底部中心放置偏壓電極，偏壓電極無需從M形同軸天線底部進一步突出就可形成強偏壓電場，避免偏壓電極伸出影響微波耦合；沉積臺、第一調諧結構、第二調諧結構均可上下運動，調諧電場和等離子體。本裝置主要用于制備單晶金剛石和多晶金剛石膜，可實現高功率、高或低腔壓下單一等離子體高效沉積。
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    化學分析
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