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    金屬有機化學氣相沉積設備反應腔體結構

    1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:21
    本實用新型公開了一種金屬有機化學氣相沉積設備反應腔體結構，包括用于外延片生長的襯底承載盤(1)、進氣裝置(2)、出氣裝置(3)，襯底承載盤(1)存放在殼體(4)所設的密封腔體內，襯底承載盤(1)通過支撐桿直立支撐，進氣裝置(2)裝設在密封腔體頂部，出氣裝置(3)裝設密封腔體底部。本實用新型可提高單爐產量，降低反應能耗從而降低生產成本，保證淀積的均勻性，實時監測腔體環境參數，提高反應效率。
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    聲明：
    “金屬有機化學氣相沉積設備反應腔體結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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