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    基于電子動態調控和化學輔助刻蝕的橢圓微透鏡加工方法

    1204   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:22
    本發明涉及一種基于電子動態調控和化學輔助刻蝕的橢圓微透鏡加工方法,屬于功能性表面應用技術領域。包括以下步驟:調整飛秒激光系統的光路,確保激光能夠垂直入射到水平放置的待加工材料表面;將狹縫放置在光路經過處,調整狹縫的位置,將狹縫寬度調節至所需大小,確保激光垂直通過狹縫中心;借助成像CCD和照明白光源進行成像,觀測加工材料表面形貌及加工過程,配合機械開關的通斷,在待加工材料表面進行指定區域、指定間隔的加工;將帶有橢圓改性區域的樣品浸入一定濃度的刻蝕溶液中刻蝕。對比現有技術,本發明為橢圓微透鏡的高效、高質量制備提供了一種簡單、可控、高效的加工方法。
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