本發明涉及機器視覺檢測領域,公開了一種通過機器視覺技術對太陽能硅晶片表面顏色缺陷進行檢測的方法和裝置,所檢測的對象是硅晶片在經過等離子體增強化學氣相沉積該道工序后其表面顏色的分布信息。其分類方案是,采用圖像濾波技術、彩色圖像分割技術、彩色圖像HSI空間分析技術等對采集的圖像進行處理分析;提取圖像的特征信息;所得信息經過基于支持向量機與改進的引力搜索算法相結合的模式識別方法訓練和測試后,將硅晶片表面質量分為良好硅晶片和缺陷硅晶片兩類;將分類結果傳送至執行機構,控制單軸機器人取出缺陷硅片。該方法及裝置機構簡單,易于維護和操作,滿足檢測要求。
聲明:
“基于機器視覺的太陽能硅晶片顏色自動檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)