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    檢測層間膜非正常研磨的裝置及其實現方法

    742   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:34
    本發明公開了一種檢測層間膜非正常研磨的裝置,其包括在研磨機臺下有一透明容器,該透明容器接收研磨產物和化學試劑,在該透明容器的外面器壁上有一傳感器和一報警裝置。本發明還公開了上述檢測層間膜非正常研磨的裝置的實現方法。本發明利用金屬和一些化學試劑產生顏色變化的化學特性,通過傳感器和報警裝置及時發現研磨中金屬出現并及時發現并阻止層間膜研磨工藝的非正常研磨,避免更大的損失。
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