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    渦流檢測裝置及系統

    808   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:35
    本發明提供了一種渦流檢測裝置及系統，屬于化學拋光設備技術領域，該渦流在線終點檢測裝置包括：拋光墊、渦流傳感器和導線；渦流傳感器設置在拋光墊內，導線與渦流傳感器連接，且導線的外接端引出于拋光墊外部。該渦流檢測裝置解決了現有化學機械拋光設備中渦流在線終點檢測系統檢測距離長，造成的檢測信號不理想，以及檢測探頭突出拋光臺表面造成的檢測傳感器易損壞的問題。該渦流檢測系統包括拋光臺、信號采集處理模塊、控制裝置以及上述的渦流檢測裝置；拋光墊與拋光臺連接，渦流傳感器通過導線與信號采集處理模塊連接，信號采集處理模塊用以將檢測信號傳輸至控制裝置，進而更準確檢測被測物體的薄膜厚度。
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    聲明：
    “渦流檢測裝置及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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