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    電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置

    1170   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:37
    電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置,屬于集成電路化學機械拋光工藝設備技術領域。該裝置包括電渦流傳感器、導電滑環、導電定環、多頻信號發生單元、前置電路以及含有數據處理與控制程序的計算控制單元。電渦流傳感器安裝在拋光機的拋光臺內且與工件對應的拋光墊下方的一個階梯孔內,該電渦流傳感器包括線圈、殼體和壓緊螺母。多頻信號發生器為電渦流傳感器提供激勵信號;因金屬膜厚度變化引起的電渦流傳感器的電感變化信號經前置電路、導電滑環和導電定環輸入到計算控制單元。本發明可克服由振動引起的提離值變化對終點檢測的影響,提供準確的終點檢測;同時電渦流傳感器安裝拆卸方便,且可解決因電渦流傳感器的安裝間隙所引起的拋光液的滲漏問題。
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