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    植入式神經信息雙模檢測微電極陣列芯片及制備方法

    997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:11:27
    本發明公開了一種植入式神經信息雙模檢測微電極陣列芯片及制備方法，涉及傳感器技術。該芯片包括硅針基底、呈陣列排布的多個微電極、對電極、電化學參比電極、電生理參比電極、引線、焊盤以及絕緣層。芯片采用微機電系統(MEMS)工藝加工制備。硅針前端部分可植入動物體內的神經組織，用于同時檢測神經電生理信號和神經遞質電化學信號，并兼有對神經組織施加電刺激的功能。本發明芯片功能集成化，適合急性或長期植入動物體內，開展神經信息的原位、同步雙模檢測及相關研究。
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    化學分析
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