• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 化學分析技術

    > 半導體機臺的氣密性檢測方法

    半導體機臺的氣密性檢測方法

    778   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:13:09
    本申請涉及一種半導體機臺的氣密性檢測方法。所述半導體機臺的氣密性檢測方法包括如下步驟:形成測試芯片,所述測試芯片包括襯底以及位于所述襯底上的測試膜層,所述測試膜層中具有測試圖案,所述測試膜層具有化學反應活性;獲取所述測試圖案的第一特征尺寸;放置所述測試芯片至半導體機臺內部;于所述半導體機臺內部建立真空環境;獲取自所述半導體機臺內部取出后的所述測試圖案的第二特征尺寸;判斷所述第一特征尺寸是否大于所述第二特征尺寸,若是,則確認所述半導體機臺的氣密性差。本申請縮短了半導體機臺氣密性檢測的時間,降低了半導體機臺氣密性檢測的成本,并提高了半導體機臺氣密性檢測的準確度。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “半導體機臺的氣密性檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    化學分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>