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    壓阻式自檢測自激勵SECM探針

    917   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:13:10
    本申請公開了一種壓阻式自檢測自激勵SECM探針，涉及掃描電化學顯微鏡領域，包括主體支撐結構；與主體支撐結構集成的懸臂梁；設于懸臂梁表面的針尖；覆蓋于針尖的金屬層，用于連接輸入端，并通過輸入端輸入的電壓或電流產生電熱作用，使懸臂梁發生形變，以使懸臂梁向待測樣品施加作用力；設于主體支撐結構上表面的惠斯通電橋，用于當懸臂梁向待測樣品施加作用力時，輸出與作用力對應的檢測信號。本申請針尖上的金屬層在電熱作用下使懸臂梁產生彎曲形變，從而向待測樣品施加作用力，實現自激勵；當懸臂梁產生彎曲形變，惠斯通電橋中可變電阻的阻值發生變化，輸出檢測信號，實現壓阻自檢測，不需設置四象限探測器和激光器，簡化結構和操作難度。
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    聲明：
    “壓阻式自檢測自激勵SECM探針” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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