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    用于制造含吸氣材料層的用于檢測電磁輻射的裝置的方法

    1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:13:12
    本發明涉及一種用于制造包括至少一個熱檢測器(10)的電磁輻射檢測裝置(1)的方法，所述熱檢測器包括懸置在襯底(2)上方的吸收膜(11)并且旨在位于密封腔(3)中，所述方法包括以下步驟：?在襯底(2)上沉積包括具有吸氣效應的金屬材料的、所謂吸氣金屬層(40)；?在吸氣金屬層(40)上沉積非晶碳的所謂的碳質犧牲層(50)；?在碳質犧牲層(50)上沉積至少一個犧牲礦物層(60A、60B)；?使犧牲礦物層(60A)化學?機械平面化；?制造熱檢測器(10)，使得吸收膜(11)在犧牲礦物層(60A)上被制造；?去除犧牲礦物層(60A、60B)；?去除碳質犧牲層(50)。
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