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    檢測從旋轉卡盤丟失的晶片

    1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:17:29
    本公開涉及用于檢測何時微電子襯底不再被適當地固定或者從旋轉卡盤丟失的系統和方法。微電子襯底可以固定至旋轉卡盤，在處理室中的處理期間，當將襯底暴露于化學物質時，旋轉卡盤可以使襯底旋轉。旋轉卡盤可以包括用于檢測固定微電子襯底的夾持機構的位置的一個或更多個檢測器。檢測器可以生成與微電子襯底的位置相關的電信號。當電信號超過閾值時，系統可以使卡盤停止旋轉以防止對處理室的額外損壞。
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    聲明：
    “檢測從旋轉卡盤丟失的晶片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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