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    終點檢測窗口

    937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:35
    本實用新型公開了一種安裝在干法刻蝕設備的反應腔壁，用于設備的終點檢測系統接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質變化過程的終點檢測窗口的透光片安裝結構，通過取消現有的使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口主體凸出的上下邊框內側分別開設一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實現對透光片的一次安裝成功，從而提高了機臺保養的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安裝結構會因安裝不當造成透光片發生碎裂的現象，節約了維護保養的費用。
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