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    高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器

    1050   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:35
    本發明公開一種高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器,所述氣敏傳感器是以納米氧化鎳為氣敏材料,其特點在于,所述納米氧化鎳是通過包括如下步驟得到:(1)采用三電極體系在ITO玻璃上電化學沉積鎳原子層:工作電極為ITO玻璃,輔助電極為Ni,參比電極為飽和甘汞電極,電解液為硫酸鎳水溶液;(2)步驟(1)沉積鎳原子層后的ITO玻璃在空氣氣氛下于350~380℃處理60~90min,冷卻,超聲處理,得到具有玫瑰花狀形貌的所述納米氧化鎳。與現有以納米氧化鎳作為氣敏材料的氣敏傳感器相比,本發明的氣敏傳感器可顯著提高對氣體的檢測靈敏度,特別是濃度低至20ppm以下的靈敏度。
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