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    膜厚度的檢測方法

    945   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:36
    本發明公開了一種膜厚度的檢測方法，包括步驟：1）在硅襯底上，淀積一層阻擋層，并量測阻擋層厚度；2）在阻擋層表面淀積一層待測厚度的膜；3）在待測厚度的膜表面淀積光刻膠，然后，對光刻膠進行圖形化，并且刻蝕待測厚度的膜至阻擋層，形成溝槽；4）淀積絕緣層以填充溝槽；5）利用化學機械研磨進行絕緣層平坦化，量測溝槽中的絕緣層厚度，即為步驟2）的膜厚度。本發明的方法使用快速簡便，準確度高，測試范圍廣，同時，可以達到器件性能調整、標準片制備以及腔體中心化的目的。
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    聲明：
    “膜厚度的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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